產(chǎn)品概述:
CYS-E電子級光譜濃度儀系列產(chǎn)品采用分體式設計,主要由濃度傳感器和多功能主機組成,采用光譜連續(xù)掃描方式,通過傳感器采集介質的光譜圖像,多功能主機內(nèi)置建模、分析、顯示和信號輸出等功能,適用于泛半導體行業(yè)濕電子化學品的濃度檢測。
傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結構結合大面積藍寶石光學棱鏡,通過長期技術積累和攻關研發(fā),解決了半導體行業(yè)濕電子化學品濃度在線測控類產(chǎn)品的“卡脖子”問題。
產(chǎn)品特點:
高精度,SEMI G5級,耐高溫,長壽命光源,光強自動調節(jié)。
應用領域:
氧化工藝:硫酸/雙氧水、氫氟酸、氫氧化銨/雙氧水/水、異丙醇等濃度分析;
蝕刻工藝:氫氟酸/甲氧基甲醇、氫氟酸、硝酸、硫酸、氟化銨、鹽酸、乙酸、磷酸等濃度分析;
剝離工藝:抗蝕劑剝離液、聚合物去除化學溶液、低濃度氫氟酸/稀硫酸/過氧化氫、低濃度氫氟酸/鹽酸/氨水等濃度分析;
鍍銅及平整化工藝:低濃度硫酸、雙氧水,低濃度氫氟酸中的溶解氧、稀硫酸/過氧化氫、鹽酸/氨水等濃度分析。
技術參數(shù)/Technical sheet | |
測量項目 | 吸光度、濃度、溫度 |
測量范圍 | 最小量程:0 至 0.05 CU 最大量程:0 至 3.0CU 最小量程:0 至 10ppm 最大量程:0 至 99% |
光程范圍 | 1 至 50mm(可定制) |
波長范圍 | 200 至 2500nm |
重復精度 | <±0.5%,與量程有關 |
光 源 | 氙燈或鎢燈 光源壽命≥30000小時 |
測量時間 | 5 至 60秒 |
環(huán)境溫度 | -20℃ 至 +50℃ |
過程溫度 | -30℃ 至 +150℃(特殊溫度可定制) |
光學窗口 | 光學級藍寶石 |
關鍵材質 | 觸液面材質:超純PTFE、PFA;外殼:不銹鋼 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
信號輸出 | DC 4 至 20mA;RS485;2 至 4 路開關量信號輸出 |
防爆等級 | 傳感器:本安型ExiaIICT6Ga |
防護等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1.0 MPa (更高耐壓需要定制) |
過程連接 | 3/4英寸管路安裝 |
標定校準 | 內(nèi)置在線建模軟件,根據(jù)理化數(shù)據(jù)標定校準 |
CYS-E電子級光譜濃度儀產(chǎn)品尺寸 |
多功能主機尺寸 |
旁路管道安裝方式 |
儲罐、液槽循環(huán)管道安裝方式 |